人工晶体学报2006，Vol.35Issue(6)：1372-1377,6.
单晶MgO基片超精密加工技术研究
Application and Ultraprecision Machining Technology of MgO Single Crystal
摘要
关键词
单晶MgO/基片/研磨/磨削/抛光分类
数理科学引用本文复制引用
董志刚,康仁科,金洙吉,王宁会..单晶MgO基片超精密加工技术研究[J].人工晶体学报,2006,35(6):1372-1377,6.基金项目
国家自然科学基金(No.50475149) （No.50475149）
教育部科技研究重点项目(No. 105053) （No. 105053）
辽宁省科技计划项目(No.2004222001)资助 （No.2004222001）
