中国机械工程2008,Vol.19Issue(11):1373-1378,6.
芯片键合换能系统研究现状分析
State-of-the-art of Ultrasonic Transducer Research in Microelectronics Packaging
摘要
关键词
换能系统/超声键合/研究现状/发展趋势分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
吴运新,隆志力,韩雷,钟掘..芯片键合换能系统研究现状分析[J].中国机械工程,2008,19(11):1373-1378,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50390064,50605064) (50390064,50605064)
国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716202) (2003CB716202)
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20060533068) (20060533068)
长江学者创新团队发展计划资助项目(IRT0549) (IRT0549)
湖南科技计划项目(2007FJ3098) (2007FJ3098)