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芯片键合换能系统研究现状分析

吴运新 隆志力 韩雷 钟掘

中国机械工程2008,Vol.19Issue(11):1373-1378,6.
中国机械工程2008,Vol.19Issue(11):1373-1378,6.

芯片键合换能系统研究现状分析

State-of-the-art of Ultrasonic Transducer Research in Microelectronics Packaging

吴运新 1隆志力 1韩雷 1钟掘1

作者信息

  • 1. 中南大学,长沙,410083
  • 折叠

摘要

关键词

换能系统/超声键合/研究现状/发展趋势

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

吴运新,隆志力,韩雷,钟掘..芯片键合换能系统研究现状分析[J].中国机械工程,2008,19(11):1373-1378,6.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(50390064,50605064) (50390064,50605064)

国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716202) (2003CB716202)

高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20060533068) (20060533068)

长江学者创新团队发展计划资助项目(IRT0549) (IRT0549)

湖南科技计划项目(2007FJ3098) (2007FJ3098)

中国机械工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-132X

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