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ZnSe多晶化学机械抛光研究

么艳平 张玉兰 李长江 刘景和

人工晶体学报2006，Vol.35Issue(6)：1378-1382,5.
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人工晶体学报2006，Vol.35Issue(6)：1378-1382,5.

ZnSe多晶化学机械抛光研究

Study on the Chemical Mechanical Polishing of ZnSe Polycrystal

么艳平 1张玉兰 2李长江 3刘景和3

作者信息

  • 1. 吉林师范大学信息技术学院,四平136000
  • 2. 长春理工大学材料与化工学院,长春,130022
  • 3. 长春理工大学光学加工中心,长春,130022
  • 折叠

摘要

关键词

ZnSe多晶/化学机械抛光/工艺技术/性能测试

分类

数理科学

引用本文复制引用

么艳平,张玉兰,李长江,刘景和..ZnSe多晶化学机械抛光研究[J].人工晶体学报,2006,35(6):1378-1382,5.

基金项目

兵器工业集团公司项目(GDZX2003) （GDZX2003）

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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