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磁控溅射制备纳米TiO2薄膜导电性的研究

顾广瑞 李英爱 陶艳春 何志 赵永年

无机材料学报2003，Vol.18Issue(6)：1381-1384,4.
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无机材料学报2003，Vol.18Issue(6)：1381-1384,4.

磁控溅射制备纳米TiO2薄膜导电性的研究

Conductivity of Magnetron-sputtered Nanometer TiO2 Thin Films

顾广瑞 1李英爱 2陶艳春 1何志 3赵永年1

作者信息

  • 1. 吉林大学超硬材料国家重点实验室,长春,130023
  • 2. 延边大学理工学院,延吉,133002
  • 3. 吉林大学超分子结构和谱学开放实验室,长春,130023
  • 折叠

摘要

关键词

TiO2薄膜/导电性/电阻率/界面电子转移

分类

化学化工

引用本文复制引用

顾广瑞,李英爱,陶艳春,何志,赵永年..磁控溅射制备纳米TiO2薄膜导电性的研究[J].无机材料学报,2003,18(6):1381-1384,4.

基金项目

国家自然科学基金(59831040) （59831040）

无机材料学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-324X

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