测试技术学报2003，Vol.17Issue(2)：138-140,3.
一种用于极紫外多层膜反射率测量的平台
Platform for Measuring the Reflectivity of EUV Multiplayer Films
解滨 1尼启良 1巩岩 1曹继红 1陈波1
作者信息
- 1. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022
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摘要
关键词
极紫外多层膜/反射率/步进电机/平台分类
数理科学引用本文复制引用
解滨,尼启良,巩岩,曹继红,陈波..一种用于极紫外多层膜反射率测量的平台[J].测试技术学报,2003,17(2):138-140,3.
