测试技术学报2002，Vol.16Issue(z2)：1383-1388,6.
激光直接写入系统线宽分析
The analysis of the laser direct writing line width
谢永军 1卢振武 1李凤友 1马月英 1丛小杰 1翁志成1
作者信息
- 1. 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130022
- 折叠
摘要
关键词
二元光学/激光直写/线宽分析分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
谢永军,卢振武,李凤友,马月英,丛小杰,翁志成..激光直接写入系统线宽分析[J].测试技术学报,2002,16(z2):1383-1388,6.
