电子器件2006，Vol.29Issue(4)：1384-1388,5.
MEMS磁场传感器的研究进展
The Status of the Magnetic Field Sensors
陈洁 1黄庆安 1秦明1
作者信息
- 1. 东南大学,MEMS教育部重点实验室,南京,210096
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摘要
关键词
磁场传感器/MEMS/洛仑兹力/谐振分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈洁,黄庆安,秦明..MEMS磁场传感器的研究进展[J].电子器件,2006,29(4):1384-1388,5.基金项目
国家自然科学基金重点项目资助(90607002) （90607002）
