首页|期刊导航|物理学报|反应溅射法制备TiO2薄膜

反应溅射法制备TiO2薄膜

赵坤朱凤王莉芳孟铁军张保澄赵夔

物理学报2001，Vol.50Issue(7)：1390-1395,6.

Cinvestigations of TiO2 Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering

赵坤 ¹朱凤 ¹王莉芳 ¹孟铁军 ¹张保澄 ¹赵夔¹

作者信息

反应溅射,TiO2薄膜

数理科学

赵坤,朱凤,王莉芳,孟铁军,张保澄,赵夔..反应溅射法制备TiO2薄膜[J].物理学报,2001,50(7):1390-1395,6.

中国节能投资公司(批准号:20000412)资助的课题. （批准号:20000412）

OA北大核心CSCDSCI

ISSN：1000-3290

访问量0

下载量0

段落导航