半导体学报2008，Vol.29Issue(7)：1391-1395,5.
基于梳齿间距偏差的硅微加速度计冲击与阶跃信号响应模型
Pulse and Step Signal Response Models of Micro-Accelerometers Based on the Comb Gaps Deviation
摘要
关键词
微加速度计/梳齿间距/冲击与阶跃信号响应物理模型/可靠工作范围分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
戴强,于奇,饶青,周伟,杨谟华..基于梳齿间距偏差的硅微加速度计冲击与阶跃信号响应模型[J].半导体学报,2008,29(7):1391-1395,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(批准号:60576007) （批准号:60576007）
