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GeSi MOSFET的纵向结构对器件性能的影响

董志伟 黎晨 陈培毅 钱佩信

电子学报2000,Vol.28Issue(8):139-141,3.
电子学报2000,Vol.28Issue(8):139-141,3.

GeSi MOSFET的纵向结构对器件性能的影响

The Influence of GeSi MOSFET Longitudinal Structure on Device Performance

董志伟 1黎晨 1陈培毅 1钱佩信1

作者信息

  • 1. 清华大学微电子所,北京,100084
  • 折叠

摘要

关键词

GeSi MOSFET/器件模型/模拟

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

董志伟,黎晨,陈培毅,钱佩信..GeSi MOSFET的纵向结构对器件性能的影响[J].电子学报,2000,28(8):139-141,3.

基金项目

国家自然科学基金(No.69836020) (No.69836020)

国家九五重点科技项目(攻关)计划课题97-760-03-01 (攻关)

电子学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

0372-2112

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