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光辅助对MoCVD法制备ZnO薄膜性能的影响

李香萍 张宝林 董鑫 张源涛 夏晓川 赵磊 赵旺 马艳 杜国同

发光学报2008，Vol.29Issue(1)：139-143,5.
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发光学报2008，Vol.29Issue(1)：139-143,5.

光辅助对MoCVD法制备ZnO薄膜性能的影响

Study on the Properties of ZnO Films Prepared by Photo-assisted MOCVD

李香萍 1张宝林 1董鑫 2张源涛 1夏晓川 1赵磊 1赵旺 1马艳 1杜国同1

作者信息

  • 1. 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子国家重点实验室,吉林,长春,130012
  • 2. 大连理工大学物理与光电工程学院三束材料改性国家重点实验室,辽宁,大连,116023
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摘要

关键词

氧化锌薄膜/光辅助金属有机化学气相沉积/光学特性

分类

数理科学

引用本文复制引用

李香萍,张宝林,董鑫,张源涛,夏晓川,赵磊,赵旺,马艳,杜国同..光辅助对MoCVD法制备ZnO薄膜性能的影响[J].发光学报,2008,29(1):139-143,5.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(60576054,50532080) （60576054,50532080）

发光学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-7032

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