金刚石与磨料磨具工程Issue(1)：1-4,4.
直流等离子体-热丝化学气相沉积金刚石薄膜的研究
Study of diamond film by direct current cathode-hot filament chemical vapor deposition
摘要
关键词
直流等离子体/热丝化学气相沉积/金刚石形核及生长分类
化学化工引用本文复制引用
丁发柱,石玉龙..直流等离子体-热丝化学气相沉积金刚石薄膜的研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2006,(1):1-4,4.基金项目
山东省自然科学基金项目(Y2001F10) （Y2001F10）
