红外技术2009，Vol.31Issue(1)：1-4,4.
氧化钒非制冷红外焦平面探测器芯片工艺研究
Research on Fabrication of VOx UFPA Detectors
袁俊 1太云见 1雷晓虹 1何雯瑾 1陈妞1
作者信息
- 1. 昆明物理研究所,云南,昆明,650223
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摘要
关键词
非制冷/红外焦平面/氧化钒/工艺分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
袁俊,太云见,雷晓虹,何雯瑾,陈妞..氧化钒非制冷红外焦平面探测器芯片工艺研究[J].红外技术,2009,31(1):1-4,4.
