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等离子体基低能离子注入的光谱诊断

吴桂林 雷明凯 刘延伟 张仲麟 马腾才

分析测试学报Issue(6)：1-4,4.
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分析测试学报Issue(6)：1-4,4.

等离子体基低能离子注入的光谱诊断

吴桂林 1雷明凯 2刘延伟 3张仲麟 3马腾才3

作者信息

  • 1. 大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室
  • 2. 材料工程系
  • 折叠

摘要

关键词

等离子体/离子注入/离子渗氮/光谱/改性/氮离子

分类

化学化工

引用本文复制引用

吴桂林,雷明凯,刘延伟,张仲麟,马腾才..等离子体基低能离子注入的光谱诊断[J].分析测试学报,1998,(6):1-4,4.

分析测试学报

OACSCD

1004-4957

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