金刚石与磨料磨具工程Issue(2):1-4,4.
微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备
Microwave CVD diamond thin film for LED heat spreader
摘要
关键词
微波等离子体/化学气相沉积/金刚石膜/散热片/LED分类
化学化工引用本文复制引用
满卫东,孙蕾,吴宇琼,谢鹏,余学超,汪建华..微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备[J].金刚石与磨料磨具工程,2008,(2):1-4,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50572075) (50572075)
湖北省教育厅2004年创新团队项目 ()