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微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备

满卫东 孙蕾 吴宇琼 谢鹏 余学超 汪建华

金刚石与磨料磨具工程Issue(2):1-4,4.
金刚石与磨料磨具工程Issue(2):1-4,4.

微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备

Microwave CVD diamond thin film for LED heat spreader

满卫东 1孙蕾 1吴宇琼 2谢鹏 1余学超 1汪建华1

作者信息

  • 1. 武汉工程大学等离子体化学与新材料重点实验室,武汉,430073
  • 2. 江汉大学化学与环境工程学院,武汉,430056
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摘要

关键词

微波等离子体/化学气相沉积/金刚石膜/散热片/LED

分类

化学化工

引用本文复制引用

满卫东,孙蕾,吴宇琼,谢鹏,余学超,汪建华..微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备[J].金刚石与磨料磨具工程,2008,(2):1-4,4.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(50572075) (50572075)

湖北省教育厅2004年创新团队项目 ()

金刚石与磨料磨具工程

OA北大核心CSTPCD

1006-852X

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