金刚石与磨料磨具工程Issue(5)：1-4,9,5.
氢等离子体在铁催石墨化作用下对CVD金刚石膜的刻蚀
Chemically etching vapor-deposited diamond films by using hydrogen plasma under graphitization effect of iron
摘要
关键词
CVD/金刚石膜/刻蚀/等离子体分类
化学化工引用本文复制引用
满卫东,汪建华,王传新,马志斌,王升高,张宝华..氢等离子体在铁催石墨化作用下对CVD金刚石膜的刻蚀[J].金刚石与磨料磨具工程,2006,(5):1-4,9,5.基金项目
湖北省科技厅攻关计划项目(编号:2002AA105A02) （编号:2002AA105A02）
湖北省教育厅2004年创新团队项目 （）
