物理学报2003，Vol.52Issue(1)：140-144,5.
脉冲高能量密度等离子体法类金刚石膜的制备及分析
Investigation of diamond-like-carbon films deposited on glass substrate by using a pulsed high energy density plasma gun
摘要
关键词
PHEDP法/类金刚石膜/拉曼光谱/扫描电镜分类
数理科学引用本文复制引用
杨武保,范松华,刘赤子,张谷令,王久丽,杨思泽..脉冲高能量密度等离子体法类金刚石膜的制备及分析[J].物理学报,2003,52(1):140-144,5.基金项目
国家自然科学基金(批准号:59871060)资助的课题. （批准号:59871060）
