半导体学报2007,Vol.28Issue(9):1402-1405,4.
Ag层的厚度对ZnO/Ag/ZnO多层膜性能的影响
Influence of Ag Layer Thickness on the Properties of ZnO/Ag/ZnO Films
摘要
关键词
磁控溅射/多层膜/结构/光电性质分类
数理科学引用本文复制引用
李俊,闫金良,孙学卿,李科伟,杨春秀..Ag层的厚度对ZnO/Ag/ZnO多层膜性能的影响[J].半导体学报,2007,28(9):1402-1405,4.基金项目
山东省教育厅科技基金资助项目(批准号:J04B01) (批准号:J04B01)