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Ag层的厚度对ZnO/Ag/ZnO多层膜性能的影响

李俊 闫金良 孙学卿 李科伟 杨春秀

半导体学报2007,Vol.28Issue(9):1402-1405,4.
半导体学报2007,Vol.28Issue(9):1402-1405,4.

Ag层的厚度对ZnO/Ag/ZnO多层膜性能的影响

Influence of Ag Layer Thickness on the Properties of ZnO/Ag/ZnO Films

李俊 1闫金良 1孙学卿 1李科伟 1杨春秀1

作者信息

  • 1. 鲁东大学物理与电子工程学院,烟台,264025
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摘要

关键词

磁控溅射/多层膜/结构/光电性质

分类

数理科学

引用本文复制引用

李俊,闫金良,孙学卿,李科伟,杨春秀..Ag层的厚度对ZnO/Ag/ZnO多层膜性能的影响[J].半导体学报,2007,28(9):1402-1405,4.

基金项目

山东省教育厅科技基金资助项目(批准号:J04B01) (批准号:J04B01)

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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