物理化学学报2006，Vol.22Issue(11)：1413-1418,6.
含氮磷酸锂薄膜在空气中的稳定性
Stability of Lithium Phosphorous Oxynitride Thin Films in Humid Air
摘要
关键词
LiPON薄膜/薄膜电解质/磁控溅射/全固态薄膜锂电池分类
化学化工引用本文复制引用
刘文元,李驰麟,傅正文..含氮磷酸锂薄膜在空气中的稳定性[J].物理化学学报,2006,22(11):1413-1418,6.基金项目
国家自然科学基金(20203006)资助项目 （20203006）
