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高精度伺服转台超低速控制

黄令龙 郭阳宽 陈张玮 李庆祥

光学精密工程2004,Vol.12Issue(z2):14-17,4.
光学精密工程2004,Vol.12Issue(z2):14-17,4.

高精度伺服转台超低速控制

Speed control for high precision two-axle servo system

黄令龙 1郭阳宽 1陈张玮 1李庆祥1

作者信息

  • 1. 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084
  • 折叠

摘要

关键词

高精度双轴伺服转台/伺服系统/低速控制

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

黄令龙,郭阳宽,陈张玮,李庆祥..高精度伺服转台超低速控制[J].光学精密工程,2004,12(z2):14-17,4.

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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