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Al掺杂原子分数及退火温度对ZnO薄膜光学特性的影响

薛书文 祖小涛 陈美艳 邓宏 向霞 徐自强

强激光与粒子束2007,Vol.19Issue(1):142-146,5.
强激光与粒子束2007,Vol.19Issue(1):142-146,5.

Al掺杂原子分数及退火温度对ZnO薄膜光学特性的影响

Effects of annealing temperature and Al doping concentration on the optical properties of ZnO thin films by sol-gel technique

薛书文 1祖小涛 2陈美艳 2邓宏 3向霞 2徐自强3

作者信息

  • 1. 湛江师范学院,物理系,广东,湛江,524048
  • 2. 电子科技大学,应用物理系,成都,610054
  • 3. 电子科技大学,微电子与固体电子学院,成都,610054
  • 折叠

摘要

关键词

ZnO薄膜/光致发光/溶胶凝胶/退火/吸收光谱/透射光谱

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

薛书文,祖小涛,陈美艳,邓宏,向霞,徐自强..Al掺杂原子分数及退火温度对ZnO薄膜光学特性的影响[J].强激光与粒子束,2007,19(1):142-146,5.

基金项目

高等学校博士点科研基金资助课题(20050614013) (20050614013)

教育部新世纪优秀人才支持计划资助课题(NCET-04-0899) (NCET-04-0899)

强激光与粒子束

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-4322

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