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磷分子离子(P+2)注入硅的损伤行为

方子韦 林成鲁 邹世昌

物理学报Issue(9)：1425-1431,7.
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物理学报Issue(9)：1425-1431,7.

磷分子离子(P+2)注入硅的损伤行为

方子韦 1林成鲁 1邹世昌1

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方子韦,林成鲁,邹世昌..磷分子离子(P+2)注入硅的损伤行为[J].物理学报,1988,(9):1425-1431,7.

物理学报

OACSCD

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