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具有高压互连线的多区双RESURF LDMOS击穿特性

乔明 周贤达 段明伟 方健 张波 李肇基

半导体学报2007,Vol.28Issue(9):1428-1432,5.
半导体学报2007,Vol.28Issue(9):1428-1432,5.

具有高压互连线的多区双RESURF LDMOS击穿特性

Breakdown Characteristic of Multiregion Double RESURF LDMOS with High Voltage Interconnection

乔明 1周贤达 1段明伟 1方健 1张波 1李肇基1

作者信息

  • 1. 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054
  • 折叠

摘要

关键词

高压互连线/多区/双RESURF/LDMOS/击穿电压

分类

电子信息工程

引用本文复制引用

乔明,周贤达,段明伟,方健,张波,李肇基..具有高压互连线的多区双RESURF LDMOS击穿特性[J].半导体学报,2007,28(9):1428-1432,5.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:60436030)和国家军事电子预研(批准号:51308010401)资助项目 (批准号:60436030)

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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