半导体学报2005，Vol.26Issue(7)：1428-1433,6.
CMOS工艺兼容的温湿度传感器
Fabrication of CMOS Compatible One-Bodied Humidity and Temperature Sensor
摘要
关键词
温湿度传感器/聚酰亚胺/电容型分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
彭韶华,黄庆安,秦明,张中平..CMOS工艺兼容的温湿度传感器[J].半导体学报,2005,26(7):1428-1433,6.基金项目
国家高技术研究发展计划资助项目(批准号:2004AA404030) （批准号:2004AA404030）
