光学精密工程2002，Vol.10Issue(2)：143-147,5.
新型二维纳米级微动工作台的动力学分析
Dynamic analysis on a novel nanopositioning stage driven by PZT
摘要
关键词
纳米定位/柔性铰链/有限元分析分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘品宽,孙立宁,曲东升,荣伟彬..新型二维纳米级微动工作台的动力学分析[J].光学精密工程,2002,10(2):143-147,5.基金项目
国家自然科学基金重大项目(No.29833070),国家自然科学基金项目(No.50175019),黑龙江省杰出青年基金 （No.29833070）
