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金属氧化物半导体气敏机理探析

田敬民 李守智

西安理工大学学报2002,Vol.18Issue(2):144-147,4.
西安理工大学学报2002,Vol.18Issue(2):144-147,4.

金属氧化物半导体气敏机理探析

Gas Sensing Mechanisms in Metal-Oxide Semiconductor

田敬民 1李守智1

作者信息

  • 1. 西安理工大学,自动化与信息工程学院,陕西,西安,710048
  • 折叠

摘要

关键词

气敏传感器/金属氧化物半导体/晶粒势垒

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

田敬民,李守智..金属氧化物半导体气敏机理探析[J].西安理工大学学报,2002,18(2):144-147,4.

西安理工大学学报

OACSTPCD

1006-4710

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