西安理工大学学报2002,Vol.18Issue(2):144-147,4.
金属氧化物半导体气敏机理探析
Gas Sensing Mechanisms in Metal-Oxide Semiconductor
田敬民 1李守智1
作者信息
- 1. 西安理工大学,自动化与信息工程学院,陕西,西安,710048
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摘要
关键词
气敏传感器/金属氧化物半导体/晶粒势垒分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
田敬民,李守智..金属氧化物半导体气敏机理探析[J].西安理工大学学报,2002,18(2):144-147,4.