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MEMS应用中的TiN薄膜工艺研究

杨梅 舒琼 陈兢

传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1448-1450,1454,4.
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传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1448-1450,1454,4.

MEMS应用中的TiN薄膜工艺研究

TiN Membrane for MEMS Applications

杨梅 1舒琼 2陈兢1

作者信息

  • 1. 北京大学微电子学研究院,北京,100871
  • 2. 中国科学院传感技术联合国家重点实验室,上海,200050
  • 折叠

摘要

关键词

TiN/溅射/应力/退火

分类

化学化工

引用本文复制引用

杨梅,舒琼,陈兢..MEMS应用中的TiN薄膜工艺研究[J].传感技术学报,2006,19(5):1448-1450,1454,4.

基金项目

中国科学院传感技术联合国家重点实验室研究工作基金资助(skt0504) （skt0504）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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