半导体学报2005，Vol.26Issue(7)：1448-1453,6.
MOEMS光开关动力学过程分析
Characteristic on Dynamic Response of a MOEMS Optical Switch
摘要
关键词
MOEMS/动力学分析/角速度/倾斜下电极分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
孙东明,董玮,郭文滨,刘彩霞,王国东,徐宝琨,陈维友..MOEMS光开关动力学过程分析[J].半导体学报,2005,26(7):1448-1453,6.基金项目
国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA312023),国家自然科学基金(批准号:69937019),吉林省科技发展计划(批准号:20010319)资助项目 （批准号:2002AA312023）
