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动态微位移量的自动干涉测量系统

王青

南京理工大学学报Issue(2)：145,1.
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南京理工大学学报Issue(2)：145,1.

动态微位移量的自动干涉测量系统

王青1

作者信息

  • 1. 南京理工大学
  • 折叠

摘要

关键词

光学干涉仪/自动化/动态测量/微位移

分类

机械制造

引用本文复制引用

王青..动态微位移量的自动干涉测量系统[J].南京理工大学学报,1998,(2):145,1.

基金项目

国防科研基金 （）

南京理工大学学报

1005-9830

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