传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1451-1454,4.
利用AFM探针机械刻划方法加工微纳米结构
Fabrication of Micro/ nano Structures Using Mechanical Scratching Method with AFM Tip
摘要
关键词
AFM/探针/机械刻划/微纳米加工分类
矿业与冶金引用本文复制引用
闫永达,孙涛,董申..利用AFM探针机械刻划方法加工微纳米结构[J].传感技术学报,2006,19(5):1451-1454,4.基金项目
国客自然基金项目资助(50575058,50275039) （50575058,50275039）
哈尔滨工业大学校基金资助(HIT.2002.23) （HIT.2002.23）
