上海有色金属2005，Vol.26Issue(3)：145-148,4.
世界半导体硅材料发展现状
Development Trend of Semiconducting Silicon Materials of the World
马春1
作者信息
- 1. 上海科学技术情报研究所,上海,200031
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摘要
关键词
半导体/硅/单晶硅/多晶硅/大直径化分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
马春..世界半导体硅材料发展现状[J].上海有色金属,2005,26(3):145-148,4.
