半导体学报2007，Vol.28Issue(9)：1454-1458,5.
静电驱动可调微机械电容
A Tunable Micromechanical Capacitor Driven by Electrostatic Force
摘要
关键词
可调电容/射频微机电系统/品质因数分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
方东明,付世,周勇,赵小林..静电驱动可调微机械电容[J].半导体学报,2007,28(9):1454-1458,5.基金项目
国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA03Z301),上海应用材料研究与发展基金(批准号:0515),非硅精密微机械制造技术研究基金(批准号:D2320060098)和上海市纳米专项基金(批准号:0652nm004)资助项目 （批准号:2006AA03Z301）
