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1064 nm与532 nm激光对电子束蒸发制备的HfO2/SiO2高反膜损伤比较

李大伟 陶春先 李笑 赵元安 邵建达

强激光与粒子束2008,Vol.20Issue(9):1457-1460,4.
强激光与粒子束2008,Vol.20Issue(9):1457-1460,4.

1064 nm与532 nm激光对电子束蒸发制备的HfO2/SiO2高反膜损伤比较

Comparison of laser induced damage at 1 064 nm and 532 nm to high-reflective film fabricated by electron beam evaporation

李大伟 1陶春先 2李笑 1赵元安 2邵建达1

作者信息

  • 1. 中国科学院,上海光学精密机械研究所,光学薄膜技术研究与发展中心,上海201800
  • 2. 中国科学院研究生院,北京,100039
  • 折叠

摘要

关键词

光学薄膜/激光损伤/电子束蒸发/电子缺陷

分类

数理科学

引用本文复制引用

李大伟,陶春先,李笑,赵元安,邵建达..1064 nm与532 nm激光对电子束蒸发制备的HfO2/SiO2高反膜损伤比较[J].强激光与粒子束,2008,20(9):1457-1460,4.

强激光与粒子束

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-4322

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