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金属管件内壁栅极增强等离子体源离子注入的轴向特性研究

张谷令王久丽陈光良冯文然顾伟超牛二武范松华刘赤子杨思泽

物理学报2007，Vol.56Issue(3)：1461-1466,6.

金属管件内壁栅极增强等离子体源离子注入的轴向特性研究

Axial property of the inner surface of a metal tube processed by GEPSII

张谷令 ¹王久丽 ²陈光良 ²冯文然 ²顾伟超 ²牛二武 ²范松华 ²刘赤子 ²杨思泽²

作者信息

1. 中央民族大学物理与电子工程学院,北京,100081
2. 北京凝聚态物理国家重点实验室,中国科学院物理研究所,北京,100080
折叠

摘要

关键词

等离子体源离子注入/内表面/氮化钛

分类

数理科学

引用本文复制引用

张谷令,王久丽,陈光良,冯文然,顾伟超,牛二武,范松华,刘赤子,杨思泽..金属管件内壁栅极增强等离子体源离子注入的轴向特性研究[J].物理学报,2007,56(3):1461-1466,6.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:50071068,10275088),国家 863 计划(批准号:2002A331020),北京市科委高新科技发展项目(批准号:H020420160130),美国ARO-FE基金(批准号:N62649-02-1-0010)资助的课题. （批准号:50071068,10275088）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

ISSN：1000-3290

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