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MSM光探测器的直流特性

武术 林世鸣 刘文楷

半导体学报2001,Vol.22Issue(11):1462-1467,6.
半导体学报2001,Vol.22Issue(11):1462-1467,6.

MSM光探测器的直流特性

DC Characteristics of Metal-Semiconductor-Metal Photodetector

武术 1林世鸣 1刘文楷1

作者信息

  • 1. 中国科学院半导体研究所,集成光电子国家重点实验室,北京,100083
  • 折叠

摘要

关键词

MSM光探测器/直流/稳态/等效电路/InGaAs

分类

信息技术与安全科学

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武术,林世鸣,刘文楷..MSM光探测器的直流特性[J].半导体学报,2001,22(11):1462-1467,6.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(批准号:69896260,69937010). (批准号:69896260,69937010)

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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