半导体学报2004，Vol.25Issue(11)：1464-1468,5.
Al/SiO2/Si表面Al2O3纳米图形的AFM阳极氧化制备方法
AFM Anode Oxidation of Al2O3 Nano Patterns on Al/SiO2/Si
摘要
关键词
纳米图形/纳米线/阳极氧化/AFM分类
数理科学引用本文复制引用
焦正,李珍,吴明红,顾建忠,王德庆..Al/SiO2/Si表面Al2O3纳米图形的AFM阳极氧化制备方法[J].半导体学报,2004,25(11):1464-1468,5.基金项目
上海市应用材料研究发展基金(No.0318)和上海市启明星基金(No.03QB14017)资助项目 （No.0318）
