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稳定、优质nc-Si/a-Si:H薄膜的研制和特性分析

徐艳月 孔光临 张世斌 胡志华 曾湘波 刁宏伟 廖显伯

物理学报2003,Vol.52Issue(6):1465-1468,4.
物理学报2003,Vol.52Issue(6):1465-1468,4.

稳定、优质nc-Si/a-Si:H薄膜的研制和特性分析

Preparation and characterization of the stable nc-Si/a-Si:H films

徐艳月 1孔光临 1张世斌 1胡志华 1曾湘波 1刁宏伟 1廖显伯1

作者信息

  • 1. 中国科学院半导体研究所,表面物理国家重点实验室,凝聚态物理中心,北京,100083
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摘要

关键词

非晶硅/微结构/光致变化

分类

数理科学

引用本文复制引用

徐艳月,孔光临,张世斌,胡志华,曾湘波,刁宏伟,廖显伯..稳定、优质nc-Si/a-Si:H薄膜的研制和特性分析[J].物理学报,2003,52(6):1465-1468,4.

基金项目

国家重点基础研究发展项目(批准号:G2000028201)资助的课题. (批准号:G2000028201)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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