现代电子技术2008，Vol.31Issue(1)：147-149,3.
MEMS开关技术的研究与进展
Study and Development of MEMS Switch Technique
曲利新1
作者信息
- 1. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033
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摘要
关键词
MEMS/电源滤波器/电磁兼容/EMI分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
曲利新..MEMS开关技术的研究与进展[J].现代电子技术,2008,31(1):147-149,3.基金项目
国家自然科学基金(No.60501025). （No.60501025）
