南京大学学报（自然科学版）2009，Vol.45Issue(2)：147-152,6.
作为高介电常数栅介质材料的LaErO3薄膜热稳定性和电学性质的研究
Thermal stability and electrical properties of high-k LaErO3 films
张九如 1殷江2
作者信息
- 1. 江苏大学理学院,镇江,212013
- 2. 南京大学物理系,南京,210093
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摘要
关键词
高介电常数栅介质材料/脉冲激光淀积/薄膜分类
数理科学引用本文复制引用
张九如,殷江..作为高介电常数栅介质材料的LaErO3薄膜热稳定性和电学性质的研究[J].南京大学学报（自然科学版）,2009,45(2):147-152,6.
