中国机械工程2008，Vol.19Issue(12)：1474-1479,6.
精密硅片台的运动控制
Motion Control of a Precise Wafer Stage
摘要
关键词
超精密/硅片台/主从控制/力解耦/纳米分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张尚盈,陈学东,赵慧,严天宏..精密硅片台的运动控制[J].中国机械工程,2008,19(12):1474-1479,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50605025) （50605025）
国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716206) （2003CB716206）
华中科技大学博士后科学基金资助项目(0101100419) （0101100419）
