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InP 中深能级缺陷的产生与抑制现象

赵有文 董志远

物理学报2007,Vol.56Issue(3):1476-1479,4.
物理学报2007,Vol.56Issue(3):1476-1479,4.

InP 中深能级缺陷的产生与抑制现象

Generation and suppression of deep level defects in InP

赵有文 1董志远1

作者信息

  • 1. 中国科学院半导体研究所,北京,100083
  • 折叠

摘要

关键词

磷化铟/退火/缺陷

分类

数理科学

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赵有文,董志远..InP 中深能级缺陷的产生与抑制现象[J].物理学报,2007,56(3):1476-1479,4.

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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