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CVD金刚石膜的结构分析

刘存业 刘畅

物理学报2003,Vol.52Issue(6):1479-1483,5.
物理学报2003,Vol.52Issue(6):1479-1483,5.

CVD金刚石膜的结构分析

Microscopic structure studies on the diamond films fabricated by chemical vapor deposition method

刘存业 1刘畅2

作者信息

  • 1. 西南师范大学物理学系,重庆,400715
  • 2. 拉特格斯大学物理与天文学系,美国新泽西,08854
  • 折叠

摘要

关键词

金刚石膜/化学气相沉积/x射线掠入射/正电子湮没谱

分类

数理科学

引用本文复制引用

刘存业,刘畅..CVD金刚石膜的结构分析[J].物理学报,2003,52(6):1479-1483,5.

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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