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纳米级MOSFET的模拟

刘晓彦刘恩峰杜刚刘弋波夏志良韩汝琦

半导体学报2003，Vol.24Issue(z1)：148-152,5.

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半导体学报2003，Vol.24Issue(z1)：148-152,5.

纳米级MOSFET的模拟

Device Simulation for Nanoscale MOSFET

刘晓彦 ¹刘恩峰 ¹杜刚 ¹刘弋波 ¹夏志良 ¹韩汝琦¹

作者信息

1. 北京大学微电子学系,北京,100871
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摘要

关键词

纳米尺度/半导体器件模拟/流体动力学/量子效应

分类

通用工业技术

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刘晓彦,刘恩峰,杜刚,刘弋波,夏志良,韩汝琦..纳米级MOSFET的模拟[J].半导体学报,2003,24(z1):148-152,5.

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1674-4926

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