光学精密工程2005，Vol.13Issue(z1)：148-152,5.
全自动金丝球焊机X-Y工作台的误差分析
Error analysis on the X-Y table in automatic gold wire bonder
董吉洪 1徐宏1
作者信息
- 1. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033
- 折叠
摘要
关键词
微电子封装设备/全自动金丝球焊机/工作台/误差分析分类
矿业与冶金引用本文复制引用
董吉洪,徐宏..全自动金丝球焊机X-Y工作台的误差分析[J].光学精密工程,2005,13(z1):148-152,5.
