半导体学报2004，Vol.25Issue(11)：1491-1495,5.
基于自会聚多光束阵列的薄膜应力传感器
A Kind of Thin-Film Stress Sensor Based on Beam-Focusing Multi-Beam Array
摘要
关键词
二元光学分束器/薄膜应力/现场传感器/测量精度分类
数理科学引用本文复制引用
林晓春,郭艳艳,胡志敏,李存志,郑亚娥,安毓英..基于自会聚多光束阵列的薄膜应力传感器[J].半导体学报,2004,25(11):1491-1495,5.基金项目
陕西省自然科学基金(编号:2002F13),西安电子科技大学青年研究基金(编号:03003)资助项目 （编号:2002F13）
