光学精密工程2003，Vol.11Issue(1)：1-5,5.
体硅工艺静电致动微夹持器的试验研究
Electrostatically actuated microgripper based on silicon bulk micromachining
摘要
关键词
微夹持器/图像处理/实验分析分类
矿业与冶金引用本文复制引用
李勇,李玉和,李庆祥,訾艳阳..体硅工艺静电致动微夹持器的试验研究[J].光学精密工程,2003,11(1):1-5,5.基金项目
清华大学机械工程学程学院研究基金资助 （）
