分析测试学报2006，Vol.25Issue(1)：1-5,5.
小周期金属多层膜厚度评价
Thickness Evaluation for Short Period Metallic Multilayers
冯洁 1路庆华2
作者信息
- 1. 上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030
- 2. 上海交通大学,分析测试中心,上海,200030
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冯洁,路庆华..小周期金属多层膜厚度评价[J].分析测试学报,2006,25(1):1-5,5.基金项目
上海市科委纳米专项基金资助项目(0359nm006-1 （）
0352nm011) （）
