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硅微加速度传感器过载能力的研究

陈宏 沈绍群 鲍敏杭

传感技术学报1996,Vol.9Issue(4):1-5,5.
传感技术学报1996,Vol.9Issue(4):1-5,5.

硅微加速度传感器过载能力的研究

Study of Over-load Protection for Si Accelerometers

陈宏 1沈绍群 1鲍敏杭1

作者信息

  • 1. 复旦大学电子工程系传感器研究室,上海,200433
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摘要

关键词

加速度传感器/过载能力

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

陈宏,沈绍群,鲍敏杭..硅微加速度传感器过载能力的研究[J].传感技术学报,1996,9(4):1-5,5.

基金项目

国家自然科学基金重点项目(69236021)和传感技术国家重点实验室项目 (69236021)

传感技术学报

OACSCD

1004-1699

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