硅微加速度传感器过载能力的研究OACSCD
Study of Over-load Protection for Si Accelerometers
过载能力是加速度传感器的重要参数之一,缺少过载能力是早期硅微机械-岛结构的加速度传感器未能实用的重要原因.本文采用微机械限位结构解决了梁-岛结构压阻式加速度传感器的抗过载能力,并对设计进行了优化.采用这种方法使量程在50 gn以下的器件具备了1 000 gn以上的过载能力,达到了实用的要求.本文还对测量器件过载能力的落锤法所产生冲击加速度的规律和标定方法进行了研究,并建立了测试系统,对器件进行了冲击过载测试.
陈宏;沈绍群;鲍敏杭
复旦大学电子工程系传感器研究室,上海,200433复旦大学电子工程系传感器研究室,上海,200433复旦大学电子工程系传感器研究室,上海,200433
信息技术与安全科学
加速度传感器过载能力
《传感技术学报》 1996 (4)
1-5,5
国家自然科学基金重点项目(69236021)和传感技术国家重点实验室项目
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