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现代电子技术
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了解最新进展,研究发展规律,加快我国IC产业发展
了解最新进展,研究发展规律,加快我国IC产业发展
徐毓龙
现代电子技术
Issue(5):1-5,5.
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现代电子技术
Issue(5)
:1-5,5.
了解最新进展,研究发展规律,加快我国IC产业发展
徐毓龙
1
作者信息
1.
西安电子科技大学,技术物理学院,陕西,西安,710071
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摘要
关键词
集成电路
/
8,12英寸晶圆片
/
90 nm微加工技术
/
铜/低介电常数介质布线技术
/
IP公司
/
代加工厂
分类
信息技术与安全科学
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徐毓龙..了解最新进展,研究发展规律,加快我国IC产业发展[J].现代电子技术,2003,(5):1-5,5.
现代电子技术
ISSN:
1004-373X
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