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全固态微陀螺的研究进展

吴校生 陈文元 崔峰

电子器件2008，Vol.31Issue(5)：1505-1509,5.
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电子器件2008，Vol.31Issue(5)：1505-1509,5.

全固态微陀螺的研究进展

Researching Development of All-Solidstate Micromahcined Gyroscope

吴校生 1陈文元 1崔峰1

作者信息

  • 1. 上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030
  • 折叠

摘要

关键词

全固态/微陀螺/MEMS/压电

分类

机械制造

引用本文复制引用

吴校生,陈文元,崔峰..全固态微陀螺的研究进展[J].电子器件,2008,31(5):1505-1509,5.

基金项目

武器装备预演基金(9140A09020507JW0301)资助,上海交通大学青年基金资助 （9140A09020507JW0301）

电子器件

OACSTPCD

1005-9490

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